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HYBRID CLEAN MACHINE

SCM-650BR-4AV

설비 개요

Hybrid Clean Machine은 제품을 진공 Stage에 부착 후 세정제를 제품 표면에 도포한 후 표면의 점착성(고착성 )이물을 Spon Brush을 회전시켜 1차 제거하는 Contact Clean 공정과, 정전기와 진공 흠입을 병행하여, 세정하는 Noncontact Clean 공정을 병행하여 진행하는 세정 장치입니다.

설비 특징

  • 접촉식과 비접촉식 세정을 통합해 점착성·부유성 이물을 동시에 제거할 수 있습니다.
  • 정전기·진공·점착 포집 기술의 결합으로 미세 입자와 단차부 이물까지 정밀하게 제거합니다.
  • 제품 반전 기능으로 전면 뿐 아니라 후면까지 완벽한 양면 세정이 가능합니다.
  • AGV와 6축 로봇을 통한 완전 자동화 시스템으로 공정 효율과 안정성을 높였습니다.
  • ACF 교체 방식의 간결화로 유지보수가 편리하고 PM을 최소화합니다.

설비구조

Rinse Part(Contact)

 

  • Hybrid Clean Machine의 접촉 세정부는 Wetting Roll, Spon Brush Roll, Suction Roll, Air Knife로 구성되며, ANT 전용 세정액을 이용해 표면 이물을 부풀리고 박리한 뒤, 잔류 세정액과 미세 입자를 흡착·포집·압축공기로 제거하는 고정밀 세정 시스템입니다.

구성요소

 

Wetting Roll

  • 1차적으로 제품에 세정액을 도포하여
    Sticky성 이물을 불리는 역할

Spon Brush Roll

  • 불려진 Sticky성 이물을 회전 마찰을 통하여 박리시킴

Suction Roll

  • 제품에 잔존하는 미세 이물질과 세정액을 흡착함

ACS Part

 

  • 비접촉 방식의 진공 흡입 시스템인 ACS Roll은 제품 특성에 따라 Slot Type 또는 Multi Hole Type으로 구성됩니다. 이 ACS Roll을 중심으로 하는 비접촉 세정부는 표면 점착성과 흡입력을 결합해 초미세 이물을 효과적으로 포집하며, 민감한 소재에도 안전한 세정을 제공합니다.

구성요소

ACS Roll

  • 부유성 이물을 와류를 이용하여 강력하게 흡입을 하고, 미처 흡수되지 못한 이물들은 ACS롤 표면의 정전기와 점착 을 이용하여 흡착시킴

DCR

  • SCR에 포집된 이물을 점착성 표면으로 포집하는 Roll

ACF

  • SCR과 DCR에서 포집된 잔여 이물을 최종적으로 점착 필름 특성으로 제거하는 Film

설비 사양

항목 사이즈 (W×L×H) 무게 청소 유효폭 제품두께 이송속도 패스라인 요구전압 소비전력 입력공기압력 에어사용량
단위 mm Kg mm Mm m/min mm V Kw Kgf/cm² L/min
HCM-550HX / 4CN 1300 × 5600 × 2150 약 3000 510 Min 0.025 ~ Max 2.0 Min 0.0 ~ Max 5.0 1000(H) ± 30 3상 3선식 220 20 6.0 25,000
HCM-550HX / 4C 1300 × 1500 × 2150 1500 510 Min 0.025 ~ Max 2.0 Min 0.0 ~ Max 5.0 1000(H) ± 30 3상 3선식 220 8 6.0 10,000
HCM-550HX / 4N 1300 × 1300 × 2150 1300 510 Min 0.025 ~ Max 2.0 Min 0.0 ~ Max 5.0 1000(H) ± 30 3상 3선식 220 12 6.0 8,000

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