Non-Contact Tray Jig
수평 WET Line 공정에 사용되는 JIG로, 제품의 Side Dummy 영역을 Magnet Clamp 방식으로 고정하여 기판 표면과 직접적인 접촉 없이 안정적으로 고정할 수 있도록 설계된 Non-Contact 방식의 이송 JIG입니다. 제품 접촉면을 최소화하여 이물 및 표면 손상 발생을 방지하고, 제품 품질 및 생산 효율을 극대화할 수 있는 최적의 솔루션입니다.
기판 Side Dummy 영역을 자력으로 고정하는 구조로, 별도 기구 없이도 강한 고정력 확보
기판 표면과의 직접 접촉 없이 구동 간격을 확보해 이물/스크래치 발생 최소화
자력 고정이면서도 기판 크기 편차에 유연하게 대응가능한 구조
수세 공정 등 액체 기반 공정 중 흔들림 없이 안정적인 위치 유지
다양한 사이즈 및 두께의 기판에 적용 가능, 기존 장비와 호환성 우수
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